Interakce

Úvod

Aby mohl mikroskop zobrazit výsledný obraz, musí elektronový svazek interagovat s preparátem. Výsledkem interakce je nějaký ze signálů naznačených na obrázku, které nesou zobrazovanou informaci o mikrostruktuře. Obecně lze říct, že signály v horní části preparátu jsou užitečné především pro SEM a signály prošlých elektronů tvoří obraz v TEM.


Možné interakce elektronů se vzorkem
Možné interakce:



Elektronový rozptyl

Elektronový rozptyl lze dělit podle několika hledisek znázorněných na diagramu obrázku.



Rozdělení elektronového rozptylu
Rozdělení rozptylu:



Elasticita rozptylu závisí na tom, zda elektron při interakci ztratí svoji energii. Elektrony jsou koherentní v určitém rozsahu hodnot vlnové délky proto se mohou vyskytovat i elasticky rozptýlené nekoherentní elektrony. Směr rozptylu jako dopředný je brán rozptyl ve směru primárního elektronového svazku. Vícenásobný rozptyl je takový, jenž je tvořen více než jednou interakcí. V TEM je vícenásobný rozptyl nežádoucí, protože snižuje kvalitu obrazu – kontrast, jas.

Fyzikálně je rozptyl popisován pomocí účinného průřezu.

Účinný průřez - plocha

Účinný průřez vyjadřuje celkovou pravděpodobnost výskytu srážkové události s určitou částicí, vypočteme jej podle níže uvedeného vztahu, kde r je efektivní poloměr rozptylového centra, který nabývá určitou hodnotu pro každý rozptylový proces - elastický, neelastický. Pro představu ji lze chápat jako aktivní plochu částice v níž nastane srážka.




Totální účinný průřez je součtem elastického a neelastického účinného průřezu



Účinný průřez - tloušťka

Místo jedné částice je uvažován materiál v němž je N atomů.




kde: A je atomová hmotnost dané látky
N0 je Avogadrova konstanta
je hustota látky

Potom bude pro účinný totální průřez QT, který udává počet rozptylových událostí na jednotku vzdálenosti platit:



Má li vzorek tloušťku t, pak pravděpodobnost srážky p ve vzorku bude dána:



Součin se nazývá hmotnostní tloušťka. V tomto vztahu je vidět podstatná souvislost. Změna tloušťky nebo hustoty mají (každá z nich) stejný účinek na výslednou pravděpodobnost srážky. Tato souvislost je vidět i ze vzorce pro střední volnou dráhu .



Střední volná dráha udává průměrnou vzdálenost, kterou urazí elektron mezi dvěma srážkami a je určující pro tloušťku preparátu.

Účinný průřez - diferenciální

Diferenciální účinný průřez popisuje úhlové rozdělení rozptylu elektronů neboli pravděpodobnost, že elektron bude rozptýlen do prostorového úhlu . Lze jej nalézt v tabulkách a je hojně využíván pro počítačové simulace rozptylu elektronů pomocí metody Monte Carlo.


Elektrony jsou rozptylovány pod úhlem do prostorového úhlu , přírůstek odpovídá přírůstku prostorového úhlu , jak je patrno z obrázku.

Rozptyl elektronů do prostorového úhlu
Rozptyl elektronů do prostorového úhlu:

Mezi prostorovým úhlem a úhlem rozptylu platí geometrický vztah:



Derivací rovnice podle se získá diferenciál úhlu :



Úpravou rovnice dostáváme vztah pro diferenciální účinný průřez .



Integrací vztahu pro diferenciální účinný průřez lze vypočítat celkový účinný průřez. Meze integrálu se řídí faktem, že úhel rozptylu může nabývat hodnoty od 0 do radiánů.




Na obrázku jsou vykresleny trajektorie elektronů o energii 100 keV procházejících měděným terčíkem. Simulace je vytvořena pomocí metody Monte Carlo. Z výsledku je patrno, že se zvětšujícím úhlem rozptylu klesá hodnota výsledku účinného průřezu. Čím větší je úhel rozptylu, tím méně je do tohoto úhlu rozptýleno elektronů.

Simulace trajektorie elektronů metodou Monte Carlo
Trajektorie elektronů: