Aby mohl mikroskop zobrazit výsledný obraz, musí elektronový svazek
interagovat s preparátem.
Výsledkem
interakce
je nějaký ze signálů naznačených na obrázku, které nesou zobrazovanou informaci o
mikrostruktuře.
Obecně lze říct, že signály v horní části
preparátu
jsou užitečné především pro SEM
a signály prošlých elektronů tvoří obraz v TEM.
Možné interakce:
Elektronový rozptyl
Elektronový rozptyl lze dělit podle několika hledisek znázorněných na diagramu obrázku.
Rozdělení rozptylu:
Elasticita rozptylu závisí na tom, zda elektron při
interakci
ztratí svoji energii.
Elektrony jsou
koherentní
v určitém rozsahu hodnot vlnové délky proto se mohou vyskytovat
i elasticky rozptýlené
nekoherentní
elektrony. Směr rozptylu
jako dopředný je brán rozptyl ve směru primárního elektronového svazku. Vícenásobný rozptyl je takový,
jenž je tvořen více než jednou
interakcí.
V TEM je vícenásobný rozptyl nežádoucí,
protože snižuje kvalitu obrazu –
kontrast, jas.
Fyzikálně je rozptyl popisován pomocí účinného průřezu.
Účinný průřez - plocha
Účinný průřez
vyjadřuje celkovou pravděpodobnost výskytu srážkové události s určitou částicí,
vypočteme jej podle níže uvedeného vztahu, kde r je efektivní poloměr rozptylového centra, který nabývá určitou hodnotu pro každý rozptylový proces - elastický, neelastický.
Pro představu ji lze chápat jako aktivní plochu částice v níž nastane srážka.
Totální účinný průřez
je součtem elastického
a neelastického
účinného průřezu
Účinný průřez - tloušťka
Místo jedné částice je uvažován materiál v němž je N atomů.
kde:
A
je atomová hmotnost dané látky
N0
je Avogadrova konstanta
je hustota látky
Potom bude pro účinný totální průřez QT, který udává počet rozptylových událostí na jednotku vzdálenosti platit:
Má li vzorek tloušťku t, pak pravděpodobnost srážky p ve vzorku bude dána:
Součin
se nazývá hmotnostní tloušťka. V tomto vztahu je vidět podstatná souvislost. Změna tloušťky nebo hustoty mají (každá z nich) stejný účinek na výslednou pravděpodobnost srážky.
Tato souvislost je vidět i ze vzorce pro střední volnou dráhu
.
Střední volná dráha udává průměrnou vzdálenost, kterou urazí elektron mezi dvěma srážkami a je určující pro tloušťku
preparátu.
Účinný průřez - diferenciální
Diferenciální účinný průřez popisuje úhlové rozdělení rozptylu elektronů neboli pravděpodobnost, že elektron bude rozptýlen do prostorového úhlu
.
Lze jej nalézt v tabulkách a je hojně využíván pro počítačové simulace rozptylu elektronů pomocí metody
Monte Carlo.
Elektrony jsou rozptylovány pod úhlem
do prostorového úhlu ,
přírůstek
odpovídá přírůstku prostorového úhlu , jak je patrno z obrázku.
Rozptyl elektronů do prostorového úhlu:
Mezi prostorovým úhlem a úhlem rozptylu
platí geometrický vztah:
Derivací rovnice podle
se získá diferenciál úhlu :
Úpravou rovnice
dostáváme vztah pro diferenciální účinný průřez .
Integrací vztahu pro diferenciální účinný průřez lze vypočítat celkový účinný průřez. Meze integrálu se řídí faktem, že úhel rozptylu může nabývat hodnoty od 0 do radiánů.
Na obrázku jsou vykresleny trajektorie elektronů o energii 100 keV procházejících měděným terčíkem. Simulace je vytvořena pomocí metody
Monte Carlo.
Z výsledku je patrno, že se zvětšujícím úhlem rozptylu klesá hodnota výsledku účinného průřezu. Čím větší je úhel rozptylu, tím méně je do tohoto úhlu rozptýleno elektronů.